封入氙氣的準分子(Excimer)燈(誘電體屏障放電Excimer燈)，可有效放射波長172nm的VUV(真空紫外線)，達到超越以往的化學反應與反應速度。

特徴

1.單一波長、低溫處理

因為單一波長，可選擇會引起化學反應的紫外線，並可達到不使對象物產生非必要反應或熱的低溫處理。

2.高效率

從電力轉換為光能源的效率高（型的轉換率，即使低電力亦可產生大的能量。

3.可瞬間亮燈滅燈

僅於必要時照射必要量的能量，因此具備「不需要快門」 「實際上可延長使用壽命」等各種優點。

4.安裝方向不受限制

燈的亮燈方向不受限制，可配合生產線做立面照射。

觸控、面板、醫療生技產業

使各種基材表面親水化，同時提升附著力(如:鍍膜、上膠、貼合等處理)