甲基氯矽烷是合成有機矽高分子化合物的主要單體。二甲基二氯矽烷用於制矽油、矽橡膠和矽樹脂；一甲基二氯矽烷用於制織物防潮劑及其他有機單體；三甲基一氯矽烷作為矽油的封頭等，甲基三氯矽烷用作矽樹脂等。這些製品廣泛用於防潮電器絕緣材料、層壓製品、塗料、潤滑油、建築材料等 。
用作矽酮製造的中間體。
用作有機矽樹脂的單體及有機矽化合物的合成